open navigation menu
Autores
Documentos
Organizaciones
Eventos
Proyectos
Patentes
Servicios
Inicio
Acerca de
Explorar
Análisis
Reportes
Regresar
Inicio
/
Explore
/
Authors
Mostrando
1
resultados de:
1
Filtros
Filtros aplicados
Año de Publicación: "2003"
Subtipo de publicación
Conference Object
(1)
Publisher
Materials Research Society Symposium - Proceedings
(1)
Área temáticas
Física aplicada
(1)
Ingeniería y operaciones afines
(1)
Otras ramas de la ingeniería
(1)
Área de conocimiento
Ciencia de materiales
(1)
Origen
scopus
(1)
Thin film material parameters derived from full field nanometric displacement measurements in non-uniform MEMS geometries
Conference Object
Abstract:
MEMS-scale polycrystalline silicon 2 μm thin film specimens fabricated via the Multi User MEMS Proce
Palabras claves:
Autores:
Chasiotis I., Cho S., Jaime F. Cardenas-Garcia
Fuentes:
scopus
1
1
