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Palabras Claves: "Resistivity"
Subtipo de publicación
Conference Object
(1)
Publisher
Journal of Nanoscience and Nanotechnology
(1)
Área temáticas
Física aplicada
(1)
Área de conocimiento
Ingeniería electrónica
(1)
Año de Publicación
2011
(1)
Origen
scopus
(1)
Palabras Claves
FPP
(1)
Multilayers
(1)
UBM
(1)
Unbalanced Magnetron Sputtering
(1)
Evaluation of electrical properties of Cr/CrN nano-multilayers for electronic applications
Conference Object
Abstract:
The electrical properties of Cr/CrN nano-multilayers produced by Unbalanced Magnetron Sputtering hav
Palabras claves:
FPP, Multilayers, Resistivity, UBM, Unbalanced Magnetron Sputtering
Autores:
Edgar J. Patiño, Marulanda D.M., Olaya-Flórez J.J.
Fuentes:
scopus
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