Documentos de Perez M.S. | REDI

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Palabras Claves: "Biological sensors"

Subtipo de publicación

Publisher

Revista Materia(1)

Área temáticas

Fabricación(1)

Física aplicada(1)

Ingeniería y operaciones afines(1)

Área de conocimiento

Ciencia de materiales(1)

Electroquímica(1)

Objetivos de Desarrollo Sostenible

ODS 12: Producción y consumo responsables(1)

ODS 3: Salud y bienestar(1)

ODS 9: Industria, innovación e infraestructura(1)

Año de Publicación

Origen

Palabras Claves

Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method

Abstract: In the present work, the fabrication process of a set of micropores on crystalline silicon wafers ma

Palabras claves:

Biological sensors, Macropores, silicon, Wet etching

Der M., Diéguez M.J., Fernandez T., Golmar F., Granell P., Gustavo Iván Rosero Yañez, Lasorsa C., Lerner B., Olmos C.M., Perez M.S., Sacco F., Santizo I.