Documentos de Bemporad E. | REDI

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Año de Publicación: "2016"

Subtipo de publicación

Publisher

EPJ Applied Physics(1)

Área temáticas

Ingeniería y operaciones afines(1)

Área de conocimiento

Ciencia de materiales(1)

Objetivos de Desarrollo Sostenible

ODS 12: Producción y consumo responsables(1)

ODS 8: Trabajo decente y crecimiento económico(1)

ODS 9: Industria, innovación e infraestructura(1)

Origen

(1011) preferential orientation of polycrystalline AlN grown on SiO<inf>2</inf>/Si wafers by reactive sputter magnetron technique

Abstract: Aluminum nitride (AlN) is a ceramic compound that could be used as a processing material for semicon

Palabras claves:

Bemporad E., Bolmaro R., Burgi J., Craievich A.F., Feugeas J.N., Javier García Molleja, Piccoli M.