Documentos de Pérez J.A. | REDI

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Subtipo de publicación

Publisher

Ingenieria e Investigacion(1)

Área temáticas

Física aplicada(1)

Área de conocimiento

Ciencia de materiales(1)

Semiconductor(1)

Año de Publicación

Origen

Palabras Claves

Acoustic wave speed(1)

Aluminium nitride(1)

pulsed laser deposition(1)

AlN film deposition as a semiconductor device

Abstract: AlN films were deposited by pulsed laser deposition (PLD) using an Nd: YAG laser (λ = 1064 nm). The

Palabras claves:

Acoustic wave speed, Aluminium nitride, pulsed laser deposition

Caicedo J.C., Pérez J.A., William Arnulfo Ch Aperador