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Palabras Claves: "Inverse Problem"
Subtipo de publicación
Article
(1)
Publisher
Sensors and Actuators, A: Physical
(1)
Área temáticas
Fabricación
(1)
Ingeniería y operaciones afines
(1)
Instrumentos de precisión y otros dispositivos
(1)
Área de conocimiento
Ciencia de materiales
(1)
Ingeniería mecánica
(1)
Año de Publicación
2005
(1)
Origen
scopus
(1)
Palabras Claves
MEMs
(1)
Microscopic hole method
(1)
Nanometric displacements
(1)
Polycrystalline silicon
(1)
material properties
(1)
Ver más
Measurement of nanodisplacements and elastic properties of MEMS via the microscopic hole method
Article
Abstract:
The objective of this paper is to demonstrate the application of the microscopic hole method as an a
Palabras claves:
Inverse Problem, material properties, MEMs, Microscopic hole method, Nanometric displacements, Polycrystalline silicon, thin films
Autores:
Chasiotis I., Cho S., Jaime F. Cardenas-Garcia
Fuentes:
scopus
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