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Publisher: "Materials Research Society Symposium - Proceedings"
Subtipo de publicación
Conference Object
(1)
Área temáticas
Física aplicada
(1)
Ingeniería y operaciones afines
(1)
Otras ramas de la ingeniería
(1)
Área de conocimiento
Ciencia de materiales
(1)
Año de Publicación
2003
(1)
Origen
scopus
(1)
Thin film material parameters derived from full field nanometric displacement measurements in non-uniform MEMS geometries
Conference Object
Abstract:
MEMS-scale polycrystalline silicon 2 μm thin film specimens fabricated via the Multi User MEMS Proce
Palabras claves:
Autores:
Chasiotis I., Cho S., Jaime F. Cardenas-Garcia
Fuentes:
scopus
1
1
