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Año de Publicación: "2002"
Subtipo de publicación
Conference Object
(1)
Publisher
Materials Research Society Symposium - Proceedings
(1)
Área de conocimiento
Ciencia de materiales
(1)
Origen
scopus
(1)
Four current examples of characterization of silicon carbide
Conference Object
Abstract:
A description is given of the profiling of CVD grown 3C SiC on undulant (001) Si using low temperatu
Palabras claves:
Autores:
Bai S., Cardona M., Choyke W.J., Devaty R.P., Dorner B., Hobgood D., Jorge Serrano, Ke Y., Kimoto T., Nagasawa H., Porter L.M., Shigiltchoff O., Shishkin Y., Stojetz B., Strauch D.
Fuentes:
scopus
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