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Área temáticas: "Ingeniería y operaciones afines"
Subtipo de publicación
Article
(1)
Publisher
Metals
(1)
Área temáticas
Física aplicada
(1)
Metalurgia y productos metálicos primarios
(1)
Área de conocimiento
Ciencia de materiales
(1)
Año de Publicación
2022
(1)
Origen
scopus
(1)
Palabras Claves
RF-magnetron sputtering
(1)
Ti N films 2
(1)
deposition parameters
(1)
structural and electrochemical properties
(1)
Influence of Deposition Parameters on Structural and Electrochemical Properties of Ti/Ti<inf>2</inf>N Films Deposited by RF-Magnetron Sputtering
Article
Abstract:
The titanium nitride (Ti2N) films have good mechanical properties, such as high hardness and chemica
Palabras claves:
deposition parameters, RF-magnetron sputtering, structural and electrochemical properties, Ti N films 2
Autores:
Bautista-García R., Bermea J.E., Flores M., Gamboa-Soto F., González-Hernández A., Onofre-Bustamante E., William Arnulfo Ch Aperador
Fuentes:
scopus
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