Documentos de Gamboa-Soto F. | REDI

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Palabras Claves: "RF-magnetron sputtering"

Subtipo de publicación

Publisher

Área temáticas

Física aplicada(1)

Ingeniería y operaciones afines(1)

Metalurgia y productos metálicos primarios(1)

Área de conocimiento

Ciencia de materiales(1)

Objetivos de Desarrollo Sostenible

ODS 12: Producción y consumo responsables(1)

ODS 7: Energía asequible y no contaminante(1)

ODS 9: Industria, innovación e infraestructura(1)

Año de Publicación

Origen

Palabras Claves

Ti N films 2(1)

deposition parameters(1)

structural and electrochemical properties(1)

Influence of Deposition Parameters on Structural and Electrochemical Properties of Ti/Ti<inf>2</inf>N Films Deposited by RF-Magnetron Sputtering

Abstract: The titanium nitride (Ti2N) films have good mechanical properties, such as high hardness and chemica

Palabras claves:

deposition parameters, RF-magnetron sputtering, structural and electrochemical properties, Ti N films 2

Bautista-García R., Bermea J.E., Flores M., Gamboa-Soto F., González-Hernández A., Onofre-Bustamante E., William Arnulfo Ch Aperador