INCIDENCIA DE LA RELACIÓN DE FLUJOS DE N2 Y Ar SOBRE LA ESTEQUIOMETRIA DE RECUBRIMIENTOS DE TIN REALIZADOS MEDIANTE MAGNETRÓN DC.

Abstract:

En este trabajo se muestran los resultados obtenidos en el crecimiento de láminas delgadas de TiN, en fase reactiva sobre sustratos de acero AISI 420, mediante la técnica de magnetrón dc. Las películas obtenidas fueron logradas de un blanco de Ti (99, 9) a una presión total de 7x10-3 mbar en una atmósfera de N2 y Ar ya una potencia incidente sobre el blanco de 200 W. El parámetro de estudio fue la relación de flujos de N2 y Ar. Los resultados obtenidos hasta la fecha muestran que la fase estequiometrica del TiN se logra en la relación de mezcla φN2/φΑr= 2/98. Este resultado fue obtenido a través del estudio de difracción de rayos X y de un análisis cualitativo del color que presentan las láminas en función de la relación de mezclas estudiadas.

Año de publicación:

2004

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