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Solubility and binary phase equilibria of chlorosilanes in supercritical carbon dioxide
Conference ObjectAbstract:Palabras claves:Autores:Eduardo Vyhmeister, Estévez L.A., Muscat A.J., Suleiman D.Fuentes:scopusStudy of low-K film repair and pore sealing using chlorosilanes dissolved in supercritical carbon dioxide
OtherAbstract:Palabras claves:Autores:Eduardo Vyhmeister, Estévez L.A., Lischen Choate, Muscat A.J., Suleiman D.Fuentes:scopus