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Publisher: "Surface and Coatings Technology"
Subtipo de publicación
Article
(1)
Área temáticas
Física aplicada
(1)
Metalurgia y productos metálicos primarios
(1)
Área de conocimiento
Ciencia de materiales
(1)
Año de Publicación
2017
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Origen
google
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scopus
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Palabras Claves
RF sputtering
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Ta
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TaN and Ta/TaN thin films
(1)
characterization
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Thin film deposition of Ta, TaN and Ta/TaN bi-layer on Ti and SS316-LVM substrates by RF sputtering
Article
Abstract:
The formation and characterization of Ta, TaN and the bilayer Ta/TaN thin films deposited by RF sput
Palabras claves:
characterization, RF sputtering, Ta, TaN and Ta/TaN thin films
Autores:
Flaud V., Fraisse B., Fréty N., Jara A., Luis José Borrero González
Fuentes:
google
scopus
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